ICP-MS全稱是電感耦合等離子體質(zhì)譜儀

主要用途是進行化學元素分析檢測，特別是對金屬元素分析最擅長，也能分析B、P、As等非金屬元素。他和ICP-OES、AAS是化學元素分析的常用的三種儀器，ICP-MS的檢測限最低，可以達到PPT（10的負12次方）級

ICP-MS所用電離源是感應耦合等離子體(ICP)，它與原子發(fā)射光普儀所用的ICP是一樣的，其主體是一個由三層石英套管組成的炬管，炬管上端繞有負載線圈，三層管從里到外分別通載氣，輔助氣和冷卻氣，負載線圈由高頻電源耦合供電，產(chǎn)生垂直于線圈平面的磁場。如果通過高頻裝置使氬氣電離，則氬離子和電子在電磁場作用下又會與其它氬原子碰撞產(chǎn)生更多的離子和電子，形成渦流。強大的電流產(chǎn)生高溫，瞬間使氬氣形成溫度可達10000k的等離子焰炬。樣品由載氣帶入等離子體焰炬會發(fā)生蒸發(fā)、分解、激發(fā)和電離，輔助氣用來維持等離子體，需要量大約為1 L/min。冷卻氣以切線方向引入外管，產(chǎn)生螺旋形氣流，使負載線圈處外管的內(nèi)壁得到冷卻，冷卻氣流量為10-15 L/min。

ICP-MS通常會使用氬氣、氦氣、氮氣、氫氣、空氣或氧氣等氣源，主要還看ICP的使用者所選用的設備型號和檢測要求對氣源選擇有所不同。ICP -MS的用氣量比較大，通常24小時開機用氣量在3-5瓶之間。設備安裝前應做好氣源系統(tǒng)的供給，鋪設好管路，安裝YICHUANG-21氣體控制系統(tǒng)，對設備實現(xiàn)不間斷供氣，減少因氣源供給不足而引發(fā)的設備報錯或故障，致使前期工作浪費。

對氣源比較遠的客戶可以安裝遠程氣源監(jiān)控系統(tǒng)，時刻監(jiān)控氣體的使用情況，可根據(jù)氣體使用情況，對氣源做適時調(diào)整。